OHBP Software
OHBP Software
OHBP控制系统对整条Bay的Port进行洁净吹气，分为始终吹气和感应吹气两种类型，其可配置RFID传感器、温湿度传感器，可记录Foup放置的次数，以及整个Purge过程的温湿度变化，当RFID读取异常、温湿度未达标，具有实时报警功能；
Web UI界面可手动调节比例阀，实时控制气流量、可调节温湿度 流量 压力监控范围、亦可手动控制电磁阀的开关等操作。
功能亮点：
▪ 多盘位实时监控，稳定可靠。
▪ 搭配MF FabScope 系统，快速定位异常盘位状态。
▪ 支持Recipe 管理。
Web UI界面可手动调节比例阀，实时控制气流量、可调节温湿度 流量 压力监控范围、亦可手动控制电磁阀的开关等操作。
功能亮点：
▪ 多盘位实时监控，稳定可靠。
▪ 搭配MF FabScope 系统，快速定位异常盘位状态。
▪ 支持Recipe 管理。
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